000    nam0
001 __ 010615912
005 __ 20200122100351.0
010 __ ■a978-7-302-53663-5■dCNY79.00
100 __ ■a20200122d2019    em y0chiy50      ea
101 0_ ■achi
102 __ ■aCN■b110000
105 __ ■aa   z   000yy
106 __ ■ar
200 1_ ■a晶圆制造中的并行机调度■9jing yuan zhi zao zhong de bing xing ji diao du■f张洁，张朋著
210 __ ■a北京■c清华大学出版社■d2019
215 __ ■a10,241页■c图■d24cm
225 1_ ■a排序与调度丛书■f唐国春主编
300 __ ■a“十三五”国家重点出版规划项目
330 __ ■a本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法，以及原型系统的开发和应用。
461 _0 ■12001 ■a排序与调度丛书
606 0_ ■a半导体工艺■x自动化系统■x物料输送系统■x并行控制■x研究
690 __ ■aTN305■v5
701 _0 ■a张洁■9zhang jie■4著
701 _0 ■a张朋■9zhang peng■4著
801 _0 ■aCN■b91MARC■c20200211
905 __ ■bH00263644■aTSG■dTN305■e0003■f1
906 __ ■d79.00