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101 0_ ■achi■deng
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200 1_ ■a“后摩尔时代”微纳电子学■9“ hou mo er shi dai ” wei na dian zi xue■f国家自然科学基金委员会，中国科学院[编]
210 __ ■a北京■c科学出版社■d2019
215 __ ■a17,443页■c图■d24cm
225 1_ ■a国家科学思想库■i学术引领系列
300 __ ■a中国学科发展战略
330 __ ■a本书介绍了集成微系统技术的概念，指出集成微系统技术是利用微电子技术将热、光、磁、化学、生物等结构和集成电路制造在单芯片上的复杂微型系统；总结了集成微系统技术重要的标志性成果和发展规律。在此基础上，对集成微系统技术的发展趋势进行了总结：集成微系统技术正朝着微型化、集成化、多功能化、智能化与网络化的方向发展。书中还梳理了集成微系统技术面临的机遇与挑战。
461 _0 ■12001 ■a国家科学思想库
462 _0 ■12001 ■a学术引领系列
606 0_ ■a微电子技术■x研究
690 __ ■aTN4■v5
711 02 ■a国家自然科学基金委员会■9guo jia zi ran ke xue ji jin wei yuan hui■4编
711 02 ■a中国科学院■9zhong guo ke xue yuan■4编
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