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200 1_ ■a金刚石膜制备与物性研究及应用■9jin gang shi mo zhi bei yu wu xing yan jiu ji ying yong■f吴春雷著
210 __ ■a北京■c冶金工业出版社■d2019
215 __ ■a164页■c图■d24cm
320 __ ■a有书目
330 __ ■a本书系统研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中,温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响;以甲烷、氢气为工作气体,研究低温低压下纳米金刚石膜的制备;探索向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮气、氨气对沉积金刚石膜的表面形貌、结构、晶面取向及导电性能的影响,并以三聚氰胺为氮掺杂源,通过改变氩气氢气流量比制备高导电的纳米金刚石膜。
606 0_ ■a类金刚石膜■x研究
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701 _0 ■a吴春雷■9wu chun lei■4著
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